Apẹrẹ tilatọdaraipinpo ti a ṣepọ
Awọn iyika akojọpọ ara(Pic) nigbagbogbo ṣe apẹrẹ pẹlu iranlọwọ ti awọn iwe afọwọkọ iṣiro nitori pataki ti gigun ipa ni apapọ tabi awọn ohun elo miiran ti o ni ikanra.PicTi iṣelọpọ nipasẹ fifọ awọn fẹlẹfẹlẹ pupọ (ojo melo 10 si 30) lori wafer, eyiti o jẹ ọpọlọpọ awọn nitootọ awọn polygonal, nigbagbogbo aṣoju ni ọna kika GDSII. Ṣaaju ki o to fi sii faili naa si olupese pahotoMask, o jẹ wuni lati ṣe afiwe pic lati mọ daju atunse ti apẹrẹ naa. A pin ounjẹ naa sinu awọn ipele pupọ: ipele ti o kere julọ ni itanna onigun mẹta (EM) ni ipele-isalẹ-ọna, botilẹjẹpe awọn ibaraenisọrọ laarin awọn ohun elo ni ọwọ ni iwọn macroscopic. Awọn ọna aṣoju pẹlu Akoko Ikọ-iyatọ Ayebaye mẹta-Ašẹ (3D FDTT) ati imugboroosi Eigenmote (em). Awọn ọna wọnyi jẹ deede julọ, ṣugbọn jẹ impracticere fun gbogbo akoko ti o ni wahala pic. Ipele ti o tẹle jẹ kikopa 2.5-onisopọ, iru iyatọ iyatọ ti o tan ara rẹ (FD-BPM). Awọn ọna wọnyi jẹ iyara pupọ, ṣugbọn ẹbọ diẹ ninu deede ati pe o le ṣee mu ikede parasial ati pe o le ṣee lo lati palẹ awọn resulator, fun apẹẹrẹ. Ipele ti o tẹle jẹ kikopa 2 fo fun apẹẹrẹ, bii 2D FDTD ati 2D BPM. Iwọnyi tun yiyara, ṣugbọn o ba ni opin iṣẹ ṣiṣe, gẹgẹ bi wọn ko le ṣan awọn ohun elo eegun. Ipele siwaju si n gbigbe ati / tabi tuka matrix ti ko ni titi. Ẹya pataki kọọkan ti dinku si paati ati iṣelọpọ, ati Sevekundide ti a sopọ si ijabọ alakoso ati antiten. Awọn iṣeṣiro wọnyi jẹ iyara pupọ. Awọn ifihan agbara iṣelọpọ ti gba nipa isodipupo ọmọ-iwe gbigbe nipasẹ ifihan titẹ sii. Matrix ti o faramọ (ti awọn eroja ti a npe ni s-ayewo) isopọmọra titẹ sii ati awọn ami iṣelọpọ ni ẹgbẹ lati wa igbewọle ati awọn ami iṣelọpọ ni apa keji paati. Ni ipilẹ, Matrix ti o tuka ni o tumọ si irisi inu ẹya. Matrix ti o faramọ matrix jẹ igbagbogbo bi o ṣe tobi julọ bi ọmọtrix gbigbe ni iwọn kọọkan. Ni akojọpọ, lati 3D Em si gbigbe / tuka mtrix ti kikopa sori ẹrọ laarin iyara ati awọn apẹẹrẹ yan ilana ti o tọ lati ṣe awọn anfani Ifọwọsi ipo ayeye.
Sibẹsibẹ, gbekele simulation itanna ti itanna ati lilo awọn itọkasi / gbigbe iwe-ọmọ lati ṣe iṣeduro gbogbo aworan ti o tọ ni iwaju awo-awo nla naa. Fun apẹẹrẹ, ṣigbe ipa gigun, awọn igbibọ oju omi musi ti o sunmọ julọ lati sunmọ ara awọn iṣoro airotẹlẹ ṣee ṣe lati lọ lailoriire kuro lakoko ipemi. Nitorinaa, biotilejepe awọn irinṣẹ Dimware ti ilọsiwaju pese awọn agbara igbasilẹ to ti o lagbara, o tun nilo ipin giga ti vagilance ati imọ-ẹrọ ti o wulo nipasẹ oluṣeto ti iwe sisan.
Ọna kan ti a pe ni FDTD gba laaye 3D ati awọn ọjọ iwaju FDTTD lati ṣe taara lori apẹrẹ aworan pipe lati ṣe agbekalẹ apẹrẹ naa. Biotilẹjẹpe o nira fun eyikeyi irinṣẹ Demiltromagnetic kan lati ṣe apẹrẹ pic ti o tobi pupọ, awọn fdtd nla ti o fọn ni anfani lati sọ agbegbe agbegbe ti agbegbe ti o tobi. Ni ibile 3d ti aṣa, pe kikopa bẹrẹ nipasẹ ipilẹṣẹ awọn paati mẹfa ti awọn ohun itanna itanna laarin iwọn didun kan pato. Bi akoko lati tẹsiwaju, paati aaye tuntun ni iwọn didun ti ni iṣiro, ati bẹbẹ lọ. Igbesẹ kọọkan nilo iṣiro pupọ, nitorinaa o gba igba pipẹ. Ni iyipo 3D FDTD, dipo iṣiro iṣiro ni aaye kọọkan ni aaye kọọkan ti iwọn didun, ni itọju ni ibamu si iwọnwọn aye lainidii ati ki o ni iṣiro nikan fun awọn ẹya wọnyẹn fun awọn ẹya wọn nikan fun awọn ẹya wọnyẹn. Ni igbesẹ akoko kọọkan, awọn aaye nitosi si awọn nkan idoti ti wa ni afikun, lakoko ti awọn paati aaye ti o wa ni isalẹ ile-ilẹ agbara kan ti lọ silẹ. Fun diẹ ninu awọn ẹya, iṣiro yii le jẹ awọn aṣẹ pupọ ti titobi iyara ju ibilẹ 3D ti aṣa. Sibẹsibẹ, awọn fdtds frtds ma ṣe ṣe daradara nigbati awọn olugbagbọ pẹlu awọn ẹya pipinka nitori aaye yii n tan kaakiri pupọ, eyiti o tan kaakiri awọn atokọ pupọ ati nira lati ṣakoso. Nọmba 1 fihan apẹẹrẹ sikirinifoto ti eekanna 3d fdtation iru si agbegbe aladawọ kan ti o jọra (PBS).
Nọmba 1: Igbaradi kikuru lati 3D ti SPOPD FDTD 3D. (A) jẹ wiwo oke ti igbekale ti o jẹ simulated, eyiti o jẹ tọkọtaya itọsọna. (B) Fihan sikirinifoto ti iwe-elo kan nipa lilo iṣaro quasi-te iyọkuro. Awọn akojọpọ mejeeji ti o wa loke ṣafihan iwo oke ti Quasi-te ati awọn ifihan agbara Quasi-TM, ati awọn ami apẹrẹ meji ni isalẹ fihan wiwo apakan ti o baamu ti o wa ni isalẹ fihan wiwo apakan ti o baamu. (C) Fihan sikirinifoto ti kalikuru kan nipa lilo iṣaro quasi-tm
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-23-2024